MEMS器件冷熱沖擊試驗
作者：
網(wǎng)絡(luò)
編輯：
瑞凱儀器
來源：
網(wǎng)絡(luò)
發(fā)布日期： 2020.09.02
1、目的
本試驗的目的是確定MEMS器件在遭到溫度劇變時的抵抗能力，以及溫度劇變產(chǎn)生的作用。
2、設(shè)備
所用的冷熱沖擊試驗箱在加載負(fù)荷時，應(yīng)能為工作區(qū)提供并控制規(guī)定的溫度。熱容量和液體流量必須能使工作區(qū)和負(fù)載滿足規(guī)定的試驗條件和計時要求。在試驗期間用指示儀或記錄儀顯示監(jiān)視傳感器的讀數(shù)，來連續(xù)監(jiān)視壞情況負(fù)載溫度。按驗證冷熱沖擊試驗箱工作特性的要求，驗證負(fù)載條件和配置下的壞情況負(fù)載溫度。用于條件B和C的過碳氟化合物應(yīng)滿足表1的規(guī)定。
3、程序
樣品應(yīng)放于冷熱沖擊試驗箱中的合適位置，使液體在樣品周圍的流動不應(yīng)受到阻礙，然后根據(jù)表2的規(guī)定，使負(fù)載進(jìn)行條件B或其他規(guī)定的試驗條件進(jìn)行15次循環(huán)。在完成規(guī)定試驗總循環(huán)數(shù)期間，為了進(jìn)行器件批的加載或去載，或由于電源或設(shè)備故障，允許中斷試驗。然而，對任何給定的試驗，若中斷次數(shù)超過規(guī)定循環(huán)總次數(shù)的10%時，試驗必須重新從頭開始。
3.1 計時
從熱到冷或從冷到熱的總轉(zhuǎn)換時間不得超過10s。 當(dāng)壞情況負(fù)載溫度達(dá)到表2規(guī)定的極，值范圍內(nèi)時，可以轉(zhuǎn)換負(fù)載。負(fù)載應(yīng)在5min內(nèi)達(dá)到規(guī)定的溫度，但停留時間不得少于2min。
3.2 檢驗
后一次循環(huán)完成之后，不放大或放大不超過3倍對樣品標(biāo)志進(jìn)行外觀檢驗，放大20~50倍對外殼、引線或封口進(jìn)行目檢(當(dāng)本試驗用于100% 的篩選時至少應(yīng)放大1.5倍進(jìn)行檢驗)。本項檢驗和任何補(bǔ)充規(guī)定的測量及檢驗，都應(yīng)在后一次循環(huán)完成之后進(jìn)行，如果某試驗組、步或分組包括本試驗，則在該試驗組、步或分組完成之后進(jìn)行。
3.3失效判據(jù)
試驗后，任何規(guī)定的終點測量或檢驗不合格，外殼、引線或封口的缺陷或損壞跡象，或標(biāo)志模糊，均應(yīng)視為失效。試驗期間由于夾具或操作不當(dāng)造成標(biāo)志損壞，不應(yīng)影響器件的接收。
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