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微電子器件老化篩選測試流程

作者: salmon范 編輯: 瑞凱儀器 來源: www.shubeikang.com 發(fā)布日期: 2020.12.01
    1、流程
    艦船通用微電子器件的老化篩選項(xiàng)月,一般都與個(gè)或多個(gè)故障模代有關(guān)。所以其老化篩選的順序大有講究,本文推薦的艦船通用微電子器件老化篩選順序(流程)是:

    常溫初測、低溫測試、高溫測試、高低溫沖擊動(dòng)態(tài)老化/高溫存儲(chǔ)檢漏常溫終測這里的/是條件或。即如果已做動(dòng)態(tài)老化,高溫存儲(chǔ)可省:如果由于條件限制做不了動(dòng)態(tài)老化,那么可用高溫存儲(chǔ)作補(bǔ)償性篩選。

微電子器件老化篩選測試流程

    2、技術(shù)條件和方法
    2.1常溫初/終測
    2.1.1條件
    檢測的環(huán)境溫度:23℃±2℃
    確保被檢器件在檢測的環(huán)境溫度下已保持30min。
    2.1.2方法
    在有能力檢測被測器件的測試系統(tǒng)上,按器件數(shù)據(jù)手冊的技術(shù)要求檢測器件是否滿足規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)要求。一般,這些測試系統(tǒng)需要經(jīng)過認(rèn)可/計(jì)確認(rèn),測試軟件經(jīng)過認(rèn)可/計(jì)量確認(rèn)。
    2.2低溫測試
    2.2.1條件
    檢測的環(huán)境溫度:工作Tmin ±3℃
    確保被檢器件在檢測的環(huán)境溫度下已保持120min。
    2.2.2方法
    在有能力檢測被測器件的測試系統(tǒng)上,按器件數(shù)據(jù)于冊的技術(shù)要求檢測器件是否滿足規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)要求。一般,這些測試系統(tǒng)需要經(jīng)過認(rèn)可/計(jì)量確認(rèn),測試軟件經(jīng)過認(rèn)可/計(jì)量確認(rèn)。
    2.3高溫測試
    2.3.1條件
    檢測的環(huán)境溫度:工作Tmax±3℃
    確保被檢器件在檢測的環(huán)境溫度下已保持120min。
    2.3.2方法
    在有能力檢測被測器件的測試系統(tǒng)上,按器件數(shù)據(jù)手冊的技術(shù)要求檢測器件是否滿足規(guī)定的務(wù)項(xiàng)指標(biāo)要求。一般,這些測試系統(tǒng)蓿要經(jīng)過認(rèn)可/計(jì)量確認(rèn),測試軟件經(jīng)過認(rèn)可/計(jì)量確認(rèn)。
    2.4高低溫沖擊
    2.4.1條件
    沖擊低溫:存儲(chǔ)/工作 Tmin ±3℃
    沖擊高溫:存儲(chǔ)/工作 Tmax ±3℃
    沖擊保持時(shí)間:30min。
    沖擊交替時(shí)問:<3min。
    沖擊交替次數(shù):5次。
    2.4.2方法
    2.4.2.1 .二箱法
    本方法使用兩箱式冷熱沖擊試驗(yàn)箱完成試驗(yàn)。從常溫開始,將非工作狀態(tài)的器件放入低溫箱,使其達(dá)到存儲(chǔ)/工作Tmin±3℃,保持30min,取出被試件在常溫下放置2-3min,再放入溫度已達(dá)存儲(chǔ)/工作Tmax±3℃的高溫箱,保持30min。取出被試件在常溫下放置2-3min,再放入溫度已達(dá)存儲(chǔ)/工作Tmin±3℃的,低溫箱,保持30min ...,如此循環(huán)重復(fù)5次。剔除外觀受損部分。一般,這些試驗(yàn)設(shè)備也需要經(jīng)過認(rèn)可/計(jì)量確認(rèn)。
    2.4.2.2一箱法
    在三箱式(換氣式)冷熱沖擊試驗(yàn)箱上完成,將試驗(yàn)箱的二個(gè)試區(qū)溫度分別置為:存儲(chǔ)/工作Tmin±3℃和存儲(chǔ)/工作Tmax±℃,并設(shè)置它相關(guān)的試驗(yàn)參數(shù)和上作參數(shù)。將受試作放入低溫區(qū)開始試驗(yàn)。應(yīng)確保試驗(yàn)從低溫開始并能白動(dòng)切換5個(gè)循環(huán)。一般,這些試驗(yàn)設(shè)備也需要經(jīng)過認(rèn)可/計(jì)量確認(rèn)。
    2.5動(dòng)態(tài)老化3.5.1條件
    老化的環(huán)境溫度:工作Tmax±3℃
    老化時(shí)間:48h/96h。
    2.5.2方法
    在步入式高溫老化房上完成,按器件數(shù)據(jù)手冊規(guī)定的技術(shù)要求設(shè)定老化電源、電流、電壓等具體的老化條件。確保每個(gè)被試器件已安全地固定在相應(yīng)老化板的老化夾具上,并確保老化器件的每個(gè)輸入管腿都有圖形脈沖進(jìn)入。一般,這樣的老化系統(tǒng)也需要經(jīng)過認(rèn)可/計(jì)量確認(rèn)。48h/96h應(yīng)由客戶或程序文件確定。
    2.6高溫存儲(chǔ)3.6.1條件
    高溫存貯溫度:存貯/工作Tmax±3℃
    高溫存貯時(shí)間:48h/96h
    2.6.2方法
    將元器件放在滿足試驗(yàn)?zāi)芰σ蟮母叩蜏卦囼?yàn)箱中,設(shè)置高溫存貯溫度和保持時(shí)間,啟動(dòng)試驗(yàn),當(dāng)溫度到達(dá)Tmax后確保保持96h,取出自然降溫。一般,這樣的設(shè)備也需要經(jīng)過認(rèn)可/計(jì)崇確認(rèn)。48h/96h 應(yīng)由客戶或程序文件確定。
    2.7粗檢漏
    2.7.1條件
    檢漏液沸點(diǎn)溫度:120℃±5℃
    確保被檢器件能承受該溫度,否則不進(jìn)行粗檢漏。如:民品器件。
    確保檢漏液無大于1um粒子,否則過濾后再使用。
    2.7.2方法
    將被檢器件放入加壓容器,充氮?dú)膺_(dá)411Kpa保持2h。然后,將恢復(fù)常壓的被檢件逐個(gè)放入120℃±5℃的檢漏液中,確保被檢件淹沒深度超過5cm.借助放大鏡觀察30s 以上,剔除連續(xù)旨泡者。一般,這樣的壓力容器和壓力表也需要經(jīng)過認(rèn)可/計(jì)量確認(rèn)。
    3、試檢判別依據(jù)
    3.1測試判別依據(jù)
    常溫初/終測、高、低溫測試的判別依據(jù)是由各微電子器件生產(chǎn)廠商發(fā)布的柑應(yīng)器件于冊所規(guī)定的技術(shù)指標(biāo)。在無本手冊的前提下,不同商規(guī)定的技術(shù)指標(biāo)可參照執(zhí)行。測試時(shí),只要存在一項(xiàng)指標(biāo)不合格,該器件應(yīng)視為不合格品處置。在這樣的情況下,后序的篩選過程不再執(zhí)行。除非該器件的不合格程度并不嚴(yán)重,同時(shí)已通知并經(jīng)用戶認(rèn)可,方能繼續(xù)進(jìn)行。
    3.2試驗(yàn)判別依據(jù)
    3.2.1高溫存儲(chǔ)/高低溫沖擊/動(dòng)態(tài)老化判別依據(jù)
    這兩項(xiàng)試驗(yàn)的目的是加速/誘發(fā)微電子器件的早期失效。一般存在缺陷的器件在早期失效后不能恢復(fù),由于高低溫沖擊/動(dòng)態(tài)老化設(shè)備,無能力對其電氣特性是否發(fā)生了變化進(jìn)行判別,所以對高低溫沖擊/動(dòng)態(tài)老化后的器件的性能判別將在終測時(shí)進(jìn)行。此時(shí)只需要對高低溫沖擊/動(dòng)態(tài)老化后的器件進(jìn)作肉眼觀察,看其外觀物理狀態(tài)是否發(fā)生了明顯的變化,例如:龜裂、爆炸等等,如果有這類情況,器件應(yīng)立即剔除,不再參加以后的篩選試驗(yàn)。
    3.2.2粗檢漏判別依據(jù)
    根據(jù)粗檢漏的技術(shù)條件和要求,用放大鏡觀察浸入高溫檢漏液的器件,剔除連續(xù)詈泡者。
    4、記錄和報(bào)告
    在微電子器件的老化篩選過程中,對本文推薦流程的每個(gè)階段都應(yīng)形成記錄,并出具一個(gè)初測報(bào)告、低溫測試報(bào)告、高溫測試報(bào)告、一個(gè)完整(包括高低溫沖擊和動(dòng)態(tài)老化和粗檢漏)的試駿報(bào)告和一個(gè)終測報(bào)告。完整的試驗(yàn)報(bào)告也應(yīng)將所作的全部試驗(yàn)條件和結(jié)果描述消楚。
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